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공정가스용 질량분석기

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공정가스용 질량분석기

제조사명 TOFWERK
모델명 PGA-TOF
응용분야 각종 공정가스 분석, 에칭(Si) 증착(Atomic Layer Deposition)
측정항목 공정가스
제품상세정보

▷제품 특징


◼ 다양한 반도체 용도에 대응

Reactor Health State(RHS) 모니터링, End-point 검출, 플라즈마 진단 및 프로세스 최적화

◼ 빠르고 민감한 질량 분석 모니터링

TOF 질량 분석기는 1초 미만의 refresh rate의 동위원소 질량 분해능을 사용하여 모든 공정을 실시간으로 모니터링 합니다.

◼ Large Dynamic Range

반도체 공정의 모든 전구체, 부산물 및 미량종 동시 검출

◼ 견고성과 휴대성

견고하고 유연한 구성으로 가혹한 환경에서의 정밀도 확보 및 비침습적 검출을 위한 휴대성 실현

◼ 장기적 안정성

정확하고 재현 가능한 응답

◼ 강력한 소프트웨어

시스템 통합을 위해 완전히 문서화된 API를 갖춘 심플한 제어 인터페이스

◼ Notch Filter Technology에 의한 Background Reduction

질량 스펙트럼 간섭을 제어하기 위해 특정 풍부한 종을 감쇠
▷Specification
◼ 측정항목: 공정가스(Process Gases)
◼ On Source : EI(Electron Ionization
◼ Mass Resolution : 최대 8000(모델 별 상이)
◼ Mass Range : 1000 Th
◼ 분리 : Orthogonal extraction TOF
◼ Maximum Spectra Rate : 1000 Hz

▷제품용도

  (응용분야)

에칭(Si) 증착(Atomic Layer Deposition) 등에 사용되는 각종 공정가스 분석